🧨Сегодня последний день приема заявок на ШМУ «Рентгеновская оптика – 2026»
Друзья, сегодня в 00:00 по Москве заканчиваем принимать ваши заявки на участие, поторопитесь!
А пока продолжаем знакомить вас с лекторами Школы молодых учёных.
Николай Алексеевич Дюжев — кандидат физико-математических наук, директор Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» НИУ МИЭТ, специалист в области нано- и микросистемной техники, вакуумной наноэлектроники и рентгеновской нанолитографии.
Николай Алексеевич выступит с лекцией: «Высокоразрешающая рентгеновская литография с использованием преломляющей оптики на основе составных линз Френеля»
Рентгеновская литография позволяет перенести формирование топологического рисунка в нанометровый диапазон, однако достижимое разрешение определяется не только длиной волны излучения, но и возможностями рентгеновской оптики сформировать изображение на резисте с минимальными потерями и искажениями.
В лекции речь пойдёт о принципах построения высокоразрешающих литографических систем с использованием преломляющей рентгеновской оптики, составных и киноформных линз, особенностях формирования изображения в мягком рентгеновском диапазоне и перспективах достижения разрешения порядка десятков нанометров.
Для предварительного знакомства с тематикой рекомендуем работу:
П. Ю. Глаголев, Г. Д. Демин, В. И. Корнеев, Н. А. Дюжев, «Особенности формирования изображения в составных преломляющих линзах в мягком рентгеновском диапазоне длин волн».
Журнал технической физики, 2024, т. 94, № 7, с. 1182–1195.
DOI: 10.61011/JTF.2024.07.58355.177-24
📄 Файл в комментариях 👇
📅 15–16 сентября
📍 ШМУ «Рентгеновская оптика — 2026»
❗️Прием заявок до 8 сентября, оставь заявку!
Друзья, сегодня в 00:00 по Москве заканчиваем принимать ваши заявки на участие, поторопитесь!
А пока продолжаем знакомить вас с лекторами Школы молодых учёных.
Николай Алексеевич Дюжев — кандидат физико-математических наук, директор Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база» НИУ МИЭТ, специалист в области нано- и микросистемной техники, вакуумной наноэлектроники и рентгеновской нанолитографии.
Николай Алексеевич выступит с лекцией: «Высокоразрешающая рентгеновская литография с использованием преломляющей оптики на основе составных линз Френеля»
Рентгеновская литография позволяет перенести формирование топологического рисунка в нанометровый диапазон, однако достижимое разрешение определяется не только длиной волны излучения, но и возможностями рентгеновской оптики сформировать изображение на резисте с минимальными потерями и искажениями.
В лекции речь пойдёт о принципах построения высокоразрешающих литографических систем с использованием преломляющей рентгеновской оптики, составных и киноформных линз, особенностях формирования изображения в мягком рентгеновском диапазоне и перспективах достижения разрешения порядка десятков нанометров.
Для предварительного знакомства с тематикой рекомендуем работу:
П. Ю. Глаголев, Г. Д. Демин, В. И. Корнеев, Н. А. Дюжев, «Особенности формирования изображения в составных преломляющих линзах в мягком рентгеновском диапазоне длин волн».
Журнал технической физики, 2024, т. 94, № 7, с. 1182–1195.
DOI: 10.61011/JTF.2024.07.58355.177-24
📄 Файл в комментариях 👇
📅 15–16 сентября
📍 ШМУ «Рентгеновская оптика — 2026»
❗️Прием заявок до 8 сентября, оставь заявку!