🧪 От импорта к своим разработкам: Россия нарастила выпуск химии для микроэлектроники. Об этом рассказал помощник президента РФ Андрей Фурсенко на форуме «Микроэлектроника 2026».
По его словам, за последние четыре года российские компании существенно нарастили производство химической продукции для микроэлектроники. Это позволило стране снизить зависимость от импортной продукции:
Точных данных о степени локализации производства указанной химпродукции в России Фурсенко не привёл.
Тем не менее за последние 3–4 года реально удалось заместить десятки позиций — от фоторезистов и сверхчистых кислот до спецгазов и суспензий для полировки. Коротко о наиболее значимых компаниях и проектах:
🔴 АО «НИИМЭ» — предприятие выполняет 2 госконтракта («Фотолиз» и «Резист-1»). В 2025 году оно разработало, протестировало и апробировало первый полностью российский фоторезист для техпроцесса 90 нм;
🔴 ООО «Поликетон» — разрабатывает фоторезисты и антиотражающие покрытия для DUV-литографии;
🔴 АО «НИОПИК» — единственный в стране крупный серийный производитель фоторезистов, который поставляет продукцию более чем на 130 предприятий;
🔴 ИПХФ РАН — синтезирует полимерные основы для фоторезистов в кооперации с «НИИМЭ», «НИОПИК» и «Поликетоном»;
🔴 Холдинг «Химмед» — готовит запуск производства особо чистых кислот и реактивов для микроэлектроники в Подольске. На предприятии планируют получать гидроксид аммония, фтористый аммоний, соляную, фосфорную, азотную, плавиковую, серную и щавелевую кислоты высокой степени чистоты;
🔴 ООО «Силтрон» — производит сверхчистые газы и реагенты (тетрахлорид кремния, трихлорсилан, моносилан, дихлорсилан, тетрафторид кремния, хлористый водород, аммиак, фосфин, высокочистые кислоты, технологические и калибровочные газовые смеси для травления, осаждения, очистки и литографии);
🔴 АО «Эпиэл» — совместно с «Силтроном» запускает первое в России производство особо чистого хлороводорода.
🔴 АО «Микрон» (ГК «Элемент») — на конец 2023 года предприятие заместило отечественными аналогами 26 материалов для микроэлектроники;
🔴 АО «НИИ НПО «ЛУЧ» и АО «Гиредмет» (входят в «Росатом») — по заказу Минпромторга разработали собственную технологию производства высокочистого красного фосфора (99,9999%) и оксихлорида фосфора. Решение готово к серийному производству.
Помимо этого российские компании также наладили выпуск особо чистых тетракис(диметиламино)титана и бромистого водорода, гексафторида вольфрама, полиэфирэфиркетона, тартрата натрия, трибромида бора и других веществ.
▶️ На разработку материалов для микроэлектроники с 2026 по 2028 год планируют направить 4,68 млрд руб. Совокупно к 2028 году в этой области должны создать 98 новых материалов.
Также недавно производство химикатов для микроэлектроники предложили увязать с балльной системой локализации продукции.
🧪 Химпром в Telegram | в MAX
По его словам, за последние четыре года российские компании существенно нарастили производство химической продукции для микроэлектроники. Это позволило стране снизить зависимость от импортной продукции:
Были закрыты целые узкие ниши по разработке новых материалов для микроэлектроники. Ещё четыре года назад у нас в основном вся химия была привозная, по-моему, [российской] было 15%, около того. Сегодня большую часть химии мы закрываем российскими разработками.
Точных данных о степени локализации производства указанной химпродукции в России Фурсенко не привёл.
Тем не менее за последние 3–4 года реально удалось заместить десятки позиций — от фоторезистов и сверхчистых кислот до спецгазов и суспензий для полировки. Коротко о наиболее значимых компаниях и проектах:
🔴 АО «НИИМЭ» — предприятие выполняет 2 госконтракта («Фотолиз» и «Резист-1»). В 2025 году оно разработало, протестировало и апробировало первый полностью российский фоторезист для техпроцесса 90 нм;
🔴 ООО «Поликетон» — разрабатывает фоторезисты и антиотражающие покрытия для DUV-литографии;
🔴 АО «НИОПИК» — единственный в стране крупный серийный производитель фоторезистов, который поставляет продукцию более чем на 130 предприятий;
🔴 ИПХФ РАН — синтезирует полимерные основы для фоторезистов в кооперации с «НИИМЭ», «НИОПИК» и «Поликетоном»;
🔴 Холдинг «Химмед» — готовит запуск производства особо чистых кислот и реактивов для микроэлектроники в Подольске. На предприятии планируют получать гидроксид аммония, фтористый аммоний, соляную, фосфорную, азотную, плавиковую, серную и щавелевую кислоты высокой степени чистоты;
🔴 ООО «Силтрон» — производит сверхчистые газы и реагенты (тетрахлорид кремния, трихлорсилан, моносилан, дихлорсилан, тетрафторид кремния, хлористый водород, аммиак, фосфин, высокочистые кислоты, технологические и калибровочные газовые смеси для травления, осаждения, очистки и литографии);
🔴 АО «Эпиэл» — совместно с «Силтроном» запускает первое в России производство особо чистого хлороводорода.
🔴 АО «Микрон» (ГК «Элемент») — на конец 2023 года предприятие заместило отечественными аналогами 26 материалов для микроэлектроники;
🔴 АО «НИИ НПО «ЛУЧ» и АО «Гиредмет» (входят в «Росатом») — по заказу Минпромторга разработали собственную технологию производства высокочистого красного фосфора (99,9999%) и оксихлорида фосфора. Решение готово к серийному производству.
Помимо этого российские компании также наладили выпуск особо чистых тетракис(диметиламино)титана и бромистого водорода, гексафторида вольфрама, полиэфирэфиркетона, тартрата натрия, трибромида бора и других веществ.
▶️ На разработку материалов для микроэлектроники с 2026 по 2028 год планируют направить 4,68 млрд руб. Совокупно к 2028 году в этой области должны создать 98 новых материалов.
Также недавно производство химикатов для микроэлектроники предложили увязать с балльной системой локализации продукции.
🧪 Химпром в Telegram | в MAX