Технический директор компании ЛАССАРД Николай Николаевич Алленов, про российские установки вырщивания методом вертикальной направленной кристаллизации (VGF)
Часть 2/3
В 2025 году была завершена разработка установки выращивания монокристаллов арсенида галлия и германия методом вертикальной направленной кристаллизации (VGF). По сравнению с методом Чохральского технология VGF позволяет получать кристаллы с более высокой структурной однородностью и меньшим количеством дефектов, что особенно важно для ряда применений в микроэлектро-
нике и фотонике
Одной из особенностей нроссийской установки стала многотигельная конструкция, позволяющая одновременно выращивать три монокристалла в рамках одного технологического цикла. Получаемые слитки позволяют изготавливать пластины диаметром до 150 мм. Локализация производства по выращиванию кристаллодаст возможность производить в нашей
стране лазеры для ВПК (в т. ч. ЛИДАР, наведение, дальномеры), фотоприёмные устройства и ИК-детекторы (ночное видение, системы наблюдения, спутниковая разведка), оптоэлектронику и квантовые
технологии (микролазеры, квантовые датчики), космическую электронику (солнечные батареи на основе Ge, радиационностойкие компоненты), высокочастотную и СВЧ-электронику (радиолокация, связь
5G/6G)
Максим Горшенин снял про наши установки видео, оно доступно к просмотру в сети Интернет на видеохотингах
Уже сейчас оборудование проходит этап подготовки к промышленному внедрению
Параллельно завершается разработка линейки оборудования для шлифования и полировки полупроводниковых пластин. В неё входят установки односторонней и двусторонней обработки, а также исполнения с индивидуальной и групповой загрузкой пластин диаметром до 200 мм.
Опытные образцы уже изготовлены
Сейчас ведётся отработка технологических процессов, подбор суспензий и формирование рецептов обработки, чтобы заказчики могли получать не только оборудование, но и готовые технологические решения
При разработке оборудования ЛАССАРД стремится максимально использовать отечественные комплектующие там, где они доступны и соответствуют необходимым требованиям по качеству и надёжности.
Тем не менее полностью локализовать такие сложные установки пока невозможно. Ряд специализированных компонентов по-прежнему закупается за рубежом
Например, в установке выращивания монокристаллов сегодня использу-
ются тигли из пиролитического нитрида бора зарубежного производства. При этом, компания параллельно наблюдаем за развитием российских производителей материалов. Насколько известно, компания «ООО «Вириал» завершает разработку аналогичной продукции, и рассчитываем
в перспективе перейти на отечественные комплектующие
В целом степень локализации будет расти по мере появления российских поставщиков высокотехнологичных компонентов
Макс | Телеграм
Часть 2/3
В 2025 году была завершена разработка установки выращивания монокристаллов арсенида галлия и германия методом вертикальной направленной кристаллизации (VGF). По сравнению с методом Чохральского технология VGF позволяет получать кристаллы с более высокой структурной однородностью и меньшим количеством дефектов, что особенно важно для ряда применений в микроэлектро-
нике и фотонике
Одной из особенностей нроссийской установки стала многотигельная конструкция, позволяющая одновременно выращивать три монокристалла в рамках одного технологического цикла. Получаемые слитки позволяют изготавливать пластины диаметром до 150 мм. Локализация производства по выращиванию кристаллодаст возможность производить в нашей
стране лазеры для ВПК (в т. ч. ЛИДАР, наведение, дальномеры), фотоприёмные устройства и ИК-детекторы (ночное видение, системы наблюдения, спутниковая разведка), оптоэлектронику и квантовые
технологии (микролазеры, квантовые датчики), космическую электронику (солнечные батареи на основе Ge, радиационностойкие компоненты), высокочастотную и СВЧ-электронику (радиолокация, связь
5G/6G)
Максим Горшенин снял про наши установки видео, оно доступно к просмотру в сети Интернет на видеохотингах
Уже сейчас оборудование проходит этап подготовки к промышленному внедрению
Параллельно завершается разработка линейки оборудования для шлифования и полировки полупроводниковых пластин. В неё входят установки односторонней и двусторонней обработки, а также исполнения с индивидуальной и групповой загрузкой пластин диаметром до 200 мм.
Опытные образцы уже изготовлены
Сейчас ведётся отработка технологических процессов, подбор суспензий и формирование рецептов обработки, чтобы заказчики могли получать не только оборудование, но и готовые технологические решения
При разработке оборудования ЛАССАРД стремится максимально использовать отечественные комплектующие там, где они доступны и соответствуют необходимым требованиям по качеству и надёжности.
Тем не менее полностью локализовать такие сложные установки пока невозможно. Ряд специализированных компонентов по-прежнему закупается за рубежом
Например, в установке выращивания монокристаллов сегодня использу-
ются тигли из пиролитического нитрида бора зарубежного производства. При этом, компания параллельно наблюдаем за развитием российских производителей материалов. Насколько известно, компания «ООО «Вириал» завершает разработку аналогичной продукции, и рассчитываем
в перспективе перейти на отечественные комплектующие
В целом степень локализации будет расти по мере появления российских поставщиков высокотехнологичных компонентов
Макс | Телеграм