В России разработали проект многолучевого литографа
При поддержке Национальной технологической инициативы (НТИ) был создан и протестирован мультикатод — устройство, которое позволяет формировать множество электронных лучей одновременно, что значительно ускоряет процесс нанесения рисунка на подложку. В итоге если на экспонирование всей пластины у обычного однолучевого литографа может уйти до 2 недель, то многолучевой справляется за всего 5-7 минут.
По словам главного разработчика проекта Евгения Гиваргизова, уже удалось получить «массивы источников электронных пучков с радиусом закругления вершины всего 1,5–2 нм, что является одним из лучших результатов в мире». При этом отечественная разработка оказалась эффективнее западных – несколько независимых источников электронов лучше, чем сложные оптические системы с большим количеством зеркал для расщепления одного луча.
При поддержке Национальной технологической инициативы (НТИ) был создан и протестирован мультикатод — устройство, которое позволяет формировать множество электронных лучей одновременно, что значительно ускоряет процесс нанесения рисунка на подложку. В итоге если на экспонирование всей пластины у обычного однолучевого литографа может уйти до 2 недель, то многолучевой справляется за всего 5-7 минут.
По словам главного разработчика проекта Евгения Гиваргизова, уже удалось получить «массивы источников электронных пучков с радиусом закругления вершины всего 1,5–2 нм, что является одним из лучших результатов в мире». При этом отечественная разработка оказалась эффективнее западных – несколько независимых источников электронов лучше, чем сложные оптические системы с большим количеством зеркал для расщепления одного луча.