Обеспечим микро- и наноэлектронику отечественными материалами. ФИЦ ПХФ и МХ РАН на форуме «Микроэлектроника» 30 сентября - 2 октября
Одной из ключевых задач для российской микроэлектронной промышленности остаётся переход на отечественные материалы. Одновременно развитие микро- и особенно наноэлектроники требует поиска новых материалов, в том числе низкоразмерных, на основе которых можно создать принципиально новую элементную базу. А также разработки эффективных методов их диагностики.
✅ На секции №13 «Материалы микро- и наноэлектроники, диагностика материалов и элементов электронной компонентной базы» форума "Микроэлектроника" обсудим - в том числе, и с сотрудниками нашего ФИЦ - новые перспективные материалы с уникальными физическими свойствами и развитие новых методов диагностики.
Будем говорить о разработке резистов для технологических процессов фотолитографии, электронно-лучевой, ионно-лучевой литографии, рентгеновской литографии и многом другом.
Узнать о программе и докладах секции
Одной из ключевых задач для российской микроэлектронной промышленности остаётся переход на отечественные материалы. Одновременно развитие микро- и особенно наноэлектроники требует поиска новых материалов, в том числе низкоразмерных, на основе которых можно создать принципиально новую элементную базу. А также разработки эффективных методов их диагностики.
✅ На секции №13 «Материалы микро- и наноэлектроники, диагностика материалов и элементов электронной компонентной базы» форума "Микроэлектроника" обсудим - в том числе, и с сотрудниками нашего ФИЦ - новые перспективные материалы с уникальными физическими свойствами и развитие новых методов диагностики.
Будем говорить о разработке резистов для технологических процессов фотолитографии, электронно-лучевой, ионно-лучевой литографии, рентгеновской литографии и многом другом.
Узнать о программе и докладах секции