Литография в домашних условиях

Способ добывать редкоземельные металлы с помощью растений нашли в России

Разработку создали ученые института «Гиредмет» корпорации «Росатом». Технология получила название «фитомайнинг»

В отличие от обычной добычи метод не требует обогатительных заводов. Культуры высаживают на техногенных отвалах

Растения накапливают металлы в стеблях и листьях. Биомассу собирают, сушат и сжигают, затем извлекают из золы концентрат. С одного гектара можно получить до 630 кг редкоземельных металлов за урожай

Первые посадки для фитомайнинга начнут уже в следующем году. Метод поможет получать сырье там, где обычный способ невыгоден

Макс | Телеграм

«НМ-Тех» нацелен запустить завод «Фаб-200» на полную мощность в 2028 году

Российской микроэлектронике запуск должен дать ещё одну крупную площадку для выпуска микросхем на 200-мм пластинах

Сейчас «НМ-Тех» заявляет, что освоил технологии по производству чипов 250 и 130 нм, а техпроцесс 90 нм находится в разработке

В предварительной концепции нового нацпроекта по развитию российской электроники сообщалось, что мощность «НМ-Теха» составит 3 тыс. пластин в месяц

В данный момент компания ведёт реконструкцию и техническое перевооружение завода по производству микроэлектроники в Зеленограде

Производство запускается на базе обанкротившегося «Ангстрема-Т». При этом часть оборудования, приобретенного еще «Ангстрем-Т», изначально была бывшей в употреблении: оборудование для фабрики закупалось у AMD

Эксперты отмечают, что успех проекта зависит не только от монтажа оборудования, но и от способности обеспечить стабильное качество, повторяемость характеристик и сервисное обслуживание импортных установок

📸 Максим Горшенин

Макс | Телеграм

ЭСТО испытала вакуумный столик для удержания кремниевых пластин

Электростатические столы (столы с электростатическим удержанием) применяются в вакуумных установках, задействованных в процессе производства микросхем. Их основное назначение — бесконтактное, за счет статического электричества, удержание пластины с полупроводниковыми структурами

При таком способе удержания пластина не царапается, не скалывается и не загрязняется в процессе обработки. Кроме того, она дополнительно охлаждается с обратной стороны гелием. Такое охлаждение необходимо, например, при удалении фоторезиста

Раньше подобные столики российские производители микросхем закупали за рубежом. Теперь у них появляется выбор — АО НПП ЭСТО готово производить свою разработку серийно, что должно снизить зависимость от импорта. В разработке принимало участие также ООО «ЭСТИКА»

Модель SPTS 150 мм испытали как на стенде производителя, а затем у заказчика в составе установки SPTS VPX ICP на операции удаления фоторезиста

Ключевым компонентом конструкции является электростатический электрод из вакуумплотной керамики ВК-94. Основные элементы изготовлены в России из отечественных материалов

Проект реализован при содействии Московского фонда поддержки промышленности и предпринимательства (МФППиП). Фонд, в частности, помог компенсировать проценты по инвестиционному кредиту

В ЭСТО работает сильная инженерная команда — более 120 специалистов, включая конструкторов, технологов, специалистов в области электроники и программистов. Компания занимается не только разработкой и выпуском оборудования, но и его обслуживанием

Первое изделие уже задействовали в составе импортного оборудования, компания активно занимается сбором портфеля заказов

📸 ЭСТО

Макс | Телеграм

Физики из Австралии, России и Великобритании создали искусственный двумерный электростатический кристалл, электронные свойства которого можно непрерывно менять электрическим напряжением и магнитным полем

Настраиваемый искусственный кристалл сформирован внутри знакомой полупроводниковой структуры — слоя арсенида галлия в арсениде алюминия-галлия. Для этого ученые наложили на двумерный электронный газ (тончайший электронный слой) периодический электростатический рельеф. Меняя напряжения на двух затворах, исследователи смогли в одном и том же чипе перестраивать электронный спектр от «графеноподобного» к «кагоме-подобному», то есть получать разные типы энергетических зон без замены самого образца

«Главное достижение состоит в том, что в одном и том же полупроводниковом устройстве можно электрически перестраивать искусственный кристалл и переходить от графеноподобных электронных состояний к кагоме-подобной плоской зоне, где на первый план выходят взаимодействия между электронами. Это уже не просто наблюдение отдельных минизон, а управляемая платформа для исследования коллективных квантовых состояний», — пояснил один из авторов работы, старший научный сотрудник Института физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН кандидат физико-математических наук Виталий Ткаченко

В кагоме-подобной электронной системе главную роль играет кагоме-решётка. В такой решетке электроны могут почти «застывать» в так называемой плоской энергетической зоне, и тогда на первый план выходят взаимодействия между электронами, их коллективное поведение

Именно при определенном заполнении электронами плоской зоны учёные обнаружили новое коллективное состояние электронов — коррелированный изолятор, свойства которого не удавалось объяснить существующими моделями

Созданная платформа позволяет моделировать квантовые системы, которые трудно или невозможно воспроизвести в природных материалах. Свойства нового искусственного кристалла можно не только спроектировать заранее, но и перестраивать непосредственно в процессе эксперимента. Работа опубликована в журнале Nature Physics

Исследование объединило изготовление и измерение образцов, одночастичное численное моделирование и многочастичную теорию

«Смысл этого направления исследований – усилить энергию взаимодействия электронов друг с другом по сравнению с их кинетической энергией, чтобы создать условия для изучения эффектов коллективного поведения электронов», — комментирует коллега авторов статьи, старший научный сотрудник ИФП СО РАН кандидат физико-математических наук Алексей Ненашев, специалист в области моделирования квантовых явлений в низкоразмерных материалах

📸 ИФП СО РАН

Макс | Телеграм

Ученые Российского квантового центра, МФТИ и СПбГУ разработали теоретическую модель оптической памяти, которая может применяться в будущих вычислительных системах

В предложенной схеме памятью служит поляритонный конденсат Бозе — Эйнштейна — коллективное состояние света и вещества в полупроводниковой структуре

Световой импульс задает ему определенную поляризацию, после чего это состояние продолжает сохраняться и усиливаться за счет новых частиц

Компьютерное моделирование показало, что система способна удерживать заданную поляризацию в течение сотен пикосекунд. Это примерно в 100 раз превышает время жизни отдельного поляритона

При этом состояние удавалось задать даже очень слабым сигналом, соответствующим одному фотону. Более мощное возбуждение повышало устойчивость памяти

📸 «Страна Росатом»

Макс | Телеграм

Впервые на международной профильной выставке в Китае будет представлен стенд Минпромторга России с российским оборудованием и материалами для производства полупроводников

На стенде представлены отечественные решения для ключевых этапов производства микроэлектроники: технологическое оборудование, особо чистую химию, материалы и контрольно-измерительные системы. Россия входит в узкий круг государств, располагающих собственными технологиями создания оборудования для производства микроэлектроники. Отечественные компетенции охватывают литографию для топологических норм до 130 нм, оборудование кристального цикла, технологии выращивания структур А3В5, полупроводниковых монокристаллов

Свои решения на общеотраслевом стенде представляют АО «ЗНТЦ», АО «НТО», АО НИИТМ, ООО «САВТЭК», ООО «Активная фотоника», АО «НИИМЭ» и ООО «ЛАССАРД», ООО «Финпроматом» и другие

Экспозиция охватывает широкий спектр оборудования и материалов для производства ЭКБ, включая:

▪︎ литографы и эксимерные лазеры для литографии с проектными нормами до 130 нм
▪︎ установки плазмохимического травления и осаждения для пластин диаметром до 300 мм, рассчитанные на технологические процессы вплоть до 65 нм
▪︎ установки различных видов эпитаксии для формирования структур на основе полупроводниковых соединений группы А3В5
▪︎ оборудование для выращивания монокристаллов арсенида галлия и германия диаметром 100 и 150 мм;
▪︎ контрольно-измерительное оборудование
▪︎ особо чистая химия и материалы для производства ЭКБ

Развитие этих направлений продолжается. Следующие задачи отрасли связаны с переходом к меньшим топологическим нормам, дальнейшим расширением технологических возможностей отечественного оборудования и поиском новых решений, необходимых для укрепления технологического суверенитета

Многие новые технологии и перспективные разработки российской отрасли электронного машиностроения будут представлены уже в следующем году. Поэтому ждём вас на российском общеотраслевом стенде с 31 августа по 2 сентября 2026 года и на следующих профильных мероприятиях

📸 Максим Горшенин

Макс | Телеграм

ЛАССАРД выходит на зарубежные рынки

С 31 августа по 2 сентября 2026 года в Международном выставочном центре «Уси Тайху» пройдет CSEAC 2026, одна из крупнейших выставок полупроводникового оборудования, материалов и компонентов в Китае

В этом году выставка объединит более 1100 экспонентов из почти 20 стран и регионов, и около 80000 посетителей-специалистов на площади около 60000 м².

ЛАССАРД примет участие в составе делегации России на объединенном стенде Минпромторга и Правительства РФ. Компания представит разработки в области электронного машиностроения и технологий для полупроводниковой отрасли

На стенде будут представлены модели оборудования «Листопад», «Нежность» и «Эксимер»

В деловой программе выставки также состоится выступление представителя ЛАССАРД

Компания заинтересована в продвижении своих технологий на мировых рынках. Участие в CSEAC 2026 станет для ЛАССАРД возможностью представить российские разработки международной аудитории, изучить перспективы сотрудничества с китайскими и другими зарубежными компаниями, положить начало в развитии экспортного направления

«Листопад» представляет собой установку для выращивания монокристаллов GaAs и Ge методом вертикальной направленной кристаллизации (VGF). Её разработали для выращивания высококачественных монокристаллов арсенида галлия (GaAs) и германия (Ge), применяемых в современной микроэлектронике, фотонике и оптоэлектронике. Особенностями установки называются одновременное выращивание до трех кристаллов, минимальный уровень кристаллографических дефектов, высокая стабильность технологического процесса, автоматизированное управление и контроль параметров выращивания

«Нежность» — это линейка установок для одно- и двухстороннего шлифования и полировки полупроводниковых пластин. Её преимуществами называются односторонняя и двухсторонняя обработка пластин, автоматический контроль положения инструмента и усилия обработки, сенсорная система управления

Что касается «Эксимера», то это эксимерные лазеры для оптической литографии. Они предназначены для использования в системах проекционной оптической литографии при производстве интегральных схем и научных исследованиях в микроэлектронике. Лазеры способны обрабатывать элементы размером до 90 нм

📸 ЛАССАРД

Макс | Телеграм

Ученые ВШЭ разработали алгоритм, позволяющий производить более надежные процессоры для ЦОД

Специалисты из МИЭМ ВШЭ и Самарского университета создали алгоритм LRF-3D для автоматического обхода неработающих узлов в трехмерных сетях на кристалле

Благодаря своей иерархической организации он превосходит аналоги по быстродействию и точности пути, повышая надежность процессоров для использования в ЦОД, суперкомпьютерах и ИИ-вычислениях

Исходные коды алгоритмов и тестов опубликованы в открытом доступе

Многопроцессорные системы на кристалле (МПСнК) — это электронные схемы, объединяющие тысячи вычислительных элементов в единую микросхему с помощью коммуникационной сети на чипе. Такие системы применяются для построения центров обработки данных (ЦОД), суперкомпьютеров и ИИ-вычислений

Дефекты производства или износ кристалла могут приводить к неисправностям отдельных узлов сети и образованию тупиковых зон. Поэтому еще на этапе проектирования МПСнК нужно предусмотреть обход таких зон

Для передачи сигналов используются разные алгоритмы: глобальные способны найти оптимальный путь, но требуют информации о всей сети и высоких вычислительных мощностей. Локальные алгоритмы видят только ближайших соседей и потому часто строят избыточно длинные пути по сравнению с глобальными алгоритмами

Исследователи из Учебной лаборатории систем автоматизированного проектирования МИЭМ ВШЭ и Самарского университета предложили иерархию из восьми локальных алгоритмов, ключевым из которых является LRF-3D. Он оценивает функционирующих соседей и при попадании в локальный тупик делает шаг назад на предыдущую позицию, исключая заблокированное направление

📸 ВШЭ

Макс | Телеграм

Российские учёные из «Квантум Парка» МГТУ им. Н. Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» разработали технологию производства сверхпроводниковых интегральных схем на основе тантала

По словам специалистов, это позволит более чем в 10 раз повысить качество компонентов для квантовых компьютеров. Первые поставки квантовых сопроцессоров на танталовой платформе запланированы на осень 2026 года

Тантал значительно устойчивее алюминия к воздействию кислот и других агрессивных сред. Благодаря этому изготовленные на его основе компоненты можно подвергать более интенсивной обработке, удаляя с поверхности атомарные загрязнения и оксиды, которые ухудшают характеристики кубитов. К тому же, естественный оксид тантала содержит значительно меньше дефектов по сравнению с оксидом алюминия, поэтому квантовая информация сохраняется дольше

Разработчики проверили новую технологию на танталовых микроволновых резонаторах. Их добротность — способность сохранять квантовую информацию — превысила 10 млн в однофотонном режиме. Российские учёные назвали этот показатель одним из лучших в мире: подобные значения удалось получить только в Принстонском университете и Бельгийском нанотехнологическом центре IMEC

Специалисты рассказали, что при создании новой технологии необходимо было получить нужную фазу тантала — для сверхпроводниковых схем требуется высокочистый альфа-тантал. Было проведено более 1 тыс. экспериментов, для анализа пластин использовались методы просвечивающей микроскопии с атомарным разрешением. Благодаря этому удалось отследить субнанометровые структурные особенности альфа-тантала на кремнии, которые невозможно увидеть обычными приборами

📸 Чип с танталовыми резонаторами, изготовленный в Квантум Парке / Автор фото Илья Степанов

Макс | Телеграм

«Росатом» освоил 3D-печать медью

Специалисты «Росатома» успешно отработали изготовление изделий из меди и ее сплавов на промышленных 3D-принтерах линейки RusMelt. Такие 3D-принтеры традиционно использовали в качестве материалов металлопорошковые композиции из нержавеющей стали, жаропрочных материалов или, например, титана, а применение меди оставалось ограниченным из-за физических свойств материала

Инженеры московского Центра аддитивных технологий «Росатома» сумели подобрать и отработать такие режимы послойного лазерного сплавления медного порошка, которые обеспечили необходимое качество изделий. Из медного порошка напечатали элементы теплообменников и образцы, которые могут быть использованы в качестве радиаторных решёток. Все изделия успешно прошли лабораторные тесты

В «Росатоме» рассказали, что медь широко применяется в электронике, аэрокосмической и автомобильной промышленности, а также в производстве инженерных деталей и медицинского оборудования. Теперь с помощью российских 3D-принтеров можно изготавливать малосерийные высокотехнологичные компоненты из меди со сложной внутренней геометрией

По мнению специалистов, целесообразно печатать на 3D-принтере теплообменники для силовой электроники, полупроводников и телеком-оборудования; компоненты двигателей и генераторов; узлы для аэрокосмической отрасли (камеры сгорания и системы охлаждения), а также индукционные катушки, токопроводящие элементы, электроды и др. Прежде всего, такую технологию стоит применять для сложных и дорогих деталей, отметили в «Росатоме»

📸 Топливный дивизион «Росатома»

Макс | Телеграм

В России стартовало первое производство электростатических столов

Московское предприятие «ЭСТО» освоило выпуск критически важного для производства микроэлектроники оборудования, ранее поставлявшегося из-за рубежа, сообщает Департамент инвестиционной и промышленной политики Москвы. Столичный производитель разработал и запустил серийное производство электростатических столов для удержания пластин. Оборудование применяется в вакуумных установках при изготовлении микросхем, чипов и процессоров

Это уникальные для нашей страны устройства, ранее они в России не выпускались, подчеркнули в департаменте. Электростатический стол позволяет исключить механические повреждения и загрязнение поверхности пластин благодаря бесконтактному удержанию. Продукция московского предприятия доступна как в составе собственного оборудования, так и для интеграции в технологические линии, эксплуатируемые по всей стране

Проект реализован при содействии Московского Фонда поддержки промышленности и предпринимательства (МФППиП). Для запуска нового производства компания провела реконструкцию, организовав специализированные лаборатории с «чистыми комнатами». Также средства МФППиП направили на закупку оборудования для изготовления элементов электронной аппаратуры и печатных плат, механической обработки и выполнения специализированных операций, включая орбитальную и диффузионную сварку

Первый заместитель генерального директора компании «ЭСТО» Данил Челапкин отметил, что у предприятия уже появились новые заказы. По его словам, дополнительный источник выручки позволяет закрывать потребности рынка и одновременно снижать себестоимость продукции, повышая ее конкурентоспособность

📸 Департамент инвестиционной и промышленной политики Москвы

Макс | Телеграм

Руководитель Курчатовского института рассказал о развитии отечественной сети мегасайенс

Михаил Ковальчук выступил на заседании Совета по науке и образованию с участием Президента России Владимира Владимировича Путина

На площадке НИЦ «Курчатовский институт» — ПИЯФ в Гатчине на реакторе ПИК завершается создание исследовательского комплекса с 25 экспериментальными станциями, а также онкоофтальмологического комплекса "ОКО" и комплекса производства радиофармпрепаратов «Изотоп». Пуск этих установок намечен на декабрь 2026 года, уточнил Ковальчук

В Протвино на базе НИЦ «Курчатовский институт» — ИФВЭ завершается создание первого в России и одного из 13 в мире комплексов ионной терапии, который уже в ближайшее время начнёт приём пациентов

Также активно ведётся работа по созданию в Протвино установки «СИЛА» — второго (наряду с ПИК) флагмана национальной системы мегасайенс, объединяющего в себе синхротрон новейшего поколения и лазер

В Москве возрождается синхротрон ТНК «Зеленоград», где в партнёрстве с Правительством Москвы создаётся комплекс для рентгеновской литографии

Руководитель Курчатовского института особо подчеркнул востребованность результатов мегасайенс в наукоёмкой промышленности. Он сообщил, что только за последнее время НИЦ заключил соглашения о сотрудничестве с целым рядом крупнейших корпораций в различных секторах экономики. В их числе — «Роскосмос», Объединённая двигателестроительная корпорация, Объединённая авиастроительная корпорация, концерн «Калашников», «Трансмашхолдинг», «Татнефть». В постоянном режиме ведётся взаимодействие с «Росатомом»

Макс | Телеграм

Открытие исследователей МИФИ приближает науку к углеродной электронике

Процесс превращения «двумерного алмаза» диамана в ценный гибридный материал, сочетающий проводниковые, полупроводниковые и диэлектрические свойства, исследовали ученые из Национального исследовательского ядерного университета «МИФИ» с помощью компьютерного моделирования. Достижение поможет в разработке более компактной и эффективной наноэлектроники будущего, основанной на углероде

Диаман — стабильный материал, поэтому процесс протекает только при повышенной температуре. Точкой отсчета для структурных преобразований становится отрыв от поверхности диамана одного атома водорода. Чтобы это произошло, частица должна получить существенное количество энергии – 2,59 Эв. Именно поэтому процесс не запустить без нагревания

После отрыва от материала одного атома водорода превращение становится необратимым. Из-за опустевшей «вакансии» в материале возникает зона напряжения, и это вызывает отрыв ближайшего атома водорода, находящегося на противоположном графеновом слое. Появление «дивакансии» запускает цепную реакцию: от поверхности диамана начинают один за другим отрываться остальные атомы водорода

Там, где «двумерный алмаз» лишается атомов водорода, прочные связи между двумя графеновыми слоями разрываются. В этих местах диаман превращается в обычный биграфен — два слоя графена, слабо связанные между собой. В отличие от диамана, графен — отличный проводник. При этом в материале сохраняются области, где диаман не утрачивает свои свойства

В результате прежде однородный «двумерный алмаз» превращается в интересную наноструктуру, объединяющую области с различными электронными свойствами: проводниковыми (биграфен), диэлектрическими (диаман) и полупроводниковыми (в промежуточной фазе, где биграфен сочетается с диаманом)

В перспективе открытие можно использовать для получения полупроводниковых структур с заранее заданными свойствами. Изученный гибридный материал потенциально способен стать основой полностью углеродной 2D-наноэлектроники. Ожидается, что она позволит создавать более быстрые, эффективные и тонкие устройства в сравнении с существующими кремниевыми

📸 ScienceDirect

Макс | Телеграм

Инженеры проекта «Прорыв» подтвердили конкурентоспособность серверов «Эльбрус» в гиперконвергентных решениях. Испытания проводились в действующей инфраструктуре под управлением ОС «Альт», что позволило оценить работу в реальных сетевых потоках

Проверены три сценария:
1. Хранение данных: система CEPH на базе «Эльбрус-16С» обеспечила надежное распределенное хранилище
2. Базы данных: СУБД Postgres Pro на 16-ядерных процессорах показала необходимую скорость обработки
3. Виртуализация: аппаратная виртуализация позволила развернуть внутренний портал «Прорыва» со стабильным временем отклика

Результат: включение «Эльбрусов» в гиперконвергентный кластер и бесшовная совместная работа с серверами Intel в едином контуре. ОС «Альт» обеспечила отказоустойчивую среду

Михаил Аникин, главный эксперт отдела разработки и сопровождения ИС «Прорыва»:

Опыт эксплуатации серверов Эльбрус-16С непосредственно в составе нашей действующей инфраструктуры показал, что российская платформа готова к интеграции в сложные ИТ-системы. Наши инженеры подтверждают возможность совместной работы отечественного оборудования на одном уровне с тем же Intel. В целом опыт считаем весьма позитивным и будем планировать дальнейшие шаги в этом направлении

Проектное направление «Прорыв» реализуется Госкорпорацией «Росатом» и нацелено на создание новой технологической платформы атомной энергетики на базе замкнутого ядерного топливного цикла

Подробнее про проект «Прорыв» есть видео:

ВК

RUTUBE

YOUTUBE

СИРИУС: школа робототехники. "ПРОРЫВ" РосАтома. Всё бесплатно, ТОЛЬКО УЧИТЕСЬ!!!11адин

📸 «Эльбрус-2000»

Макс | Телеграм

Внедрение ИИ в российские САПР для микроэлектроники ускорят

Минпромторг скорректировал планы по интеграции технологий ИИ в отечественные САПР, используемые при разработке микроэлектроники

Если ранее предполагалось, что соответствующие опытно-конструкторские работы начнутся не раньше 2030 года, то теперь их запуск запланирован уже на 2029 год

Согласно презентации директора департамента цифровых технологий Минпромторга Владимира Дождева, которую он представил на конференции по электронному машиностроению в Минске, речь идёт о трёх отдельных ОКР, охватывающих ключевые направления проектирования:

▪️ «САПР Цифра-Про» — для цифровых схем
▪️ «САПР Аналог-Про» — для аналоговых устройств
▪️ «САПР СВЧ-Про» — для сверхвысокочастотных компонентов

Причиной переноса сроков в более раннюю сторону в МНЦТ МИЭТ (один из кураторов дорожной карты по САПР) назвали бурный прогресс в области искусственного интеллекта, а также завершение ряда подготовительных работ, включая проекты Фонда перспективных исследований

📸 Максим Горшенин

Макс | Телеграм

Москва вложила 29 млрд рублей в технологии микроэлектроники

В «Технополис Москва» вложено более 29 млрд рублей на НИОКР. Медицинская и микроэлектронная отрасли особенно выиграли от инвестиций

Заммэра столицы Максим Ликсутов подчеркнул значимость этих разработок для отечественной промышленности и городской инфраструктуры. Он отметил, что значительная часть средств, а именно 17,9 миллиарда рублей, была инвестирована в развитие новых микроэлектронных технологий

«Резиденты регулярно вкладывают финансовые ресурсы в научные разработки, которые формируют технологическое лидерство России. Компании московской особой экономической зоны выпускают продукцию, востребованную по всей стране, что укрепляет позиции отечественной промышленности и уменьшает ее зависимость от импортных товаров. При этом нам принципиально важно, чтобы разработки находили реализацию в городском хозяйстве, транспорте и здравоохранении», — подчеркнул Ликсутов

📸 Пресс-служба Департамента инвестиционной и промышленной политики города Москвы

Макс | Телеграм

Технический директор компании ЛАССАРД Николай Николаевич Алленов, про российский рынок подложек

Часть 3/3

2025 год стал для компании одним из наиболее насыщенных с точки зрения опытно-конструкторских работ

Одним из ключевых результатов стало завершение проекта «Листопад», в рамках которого разработано оборудование для выращивания монокристаллов арсенида галлия и германия методом VGF, о котором уже упоминалось ранее. Это направление имеет важное значение для развития отечественной СВЧ-электроники, фотоники и лазерной техники.
Существенный прогресс достигнут и по проекту «Эксимер». В течение года были успешно проведены лабораторные испытания опытных образцов эксимерных лазеров с длиной волны 248 нм. Эти источники предназначены для использования в составе отечественных литографиче-
ских комплексов с проектными нормами 130 нм

Ещё одним важным направлением стала работа по проекту «Нежность», предусматривающему создание линейки установок одно- и двустороннего шлифования и полировки полупроводниковых пластин. В течение года была разработана конструкторская документация, изготовлены первые опытные образцы и начата технологическая отработка оборудования

Завершение проектов «Эксимер» и «Нежность» запланировано на 2026 год

Сегодня рынок российского оборудования для производства пластин и подложек находится на этапе формирования. Несмотря на высокий интерес к импортонезависимости, активность предприятий пока не особенно стремительная

Во многом это связано с высокой стоимостью финансирования, что влияет на решения о модернизации производственных мощностей

ЛАССАРД рассчитывает, что по мере снижения стоимости финансовых ресурсов спрос на отечественное оборудование будет постепенно расти.
Дополнительными поводами могут стать государственная поддержка российских производителей и ограничение закупок зарубежных аналогов там, где уже существуют отечественные решения

Если говорить о технологических тенденциях, то компания ожидает постепенное увеличение интереса к материалам, отличным от кремния. Речь не идёт о вытеснении кремниевой электроники. Скорее российская отрасль будет концентрироваться на развитии рынка материалов
группы А3В5, карбида кремния, оксида галлия и, возможно, алмазных подложек для экстремальной электроники

При этом, в нашем сегменте оборудования для подложек правильнее говорить не о конкуренции, а о формировании отраслевой кооперации

Разработка оборудования для производства полупроводниковых материалов требует значительных инвестиций, длительных циклов разработки и особенных компетенций. Ни одна компания не сможет закрыть всю технологическую цепочку в одиночку

Поэтому дальнейшее развитие отрасли Николай Николаевич видит в контексте совместных кластеров между разработчиками оборудования, производителями материалов, научными организациями и предприятиями электронной промышленности. Такой союз позволит постепенно сформировать в России максимально локализованную технологическую цепочку

Макс | Телеграм

Технический директор компании ЛАССАРД Николай Николаевич Алленов, про российские установки вырщивания методом вертикальной направленной кристаллизации (VGF)

Часть 2/3

В 2025 году была завершена разработка установки выращивания монокристаллов арсенида галлия и германия методом вертикальной направленной кристаллизации (VGF). По сравнению с методом Чохральского технология VGF позволяет получать кристаллы с более высокой структурной однородностью и меньшим количеством дефектов, что особенно важно для ряда применений в микроэлектро-
нике и фотонике

Одной из особенностей нроссийской установки стала многотигельная конструкция, позволяющая одновременно выращивать три монокристалла в рамках одного технологического цикла. Получаемые слитки позволяют изготавливать пластины диаметром до 150 мм. Локализация производства по выращиванию кристаллодаст возможность производить в нашей
стране лазеры для ВПК (в т. ч. ЛИДАР, наведение, дальномеры), фотоприёмные устройства и ИК-детекторы (ночное видение, системы наблюдения, спутниковая разведка), оптоэлектронику и квантовые
технологии (микролазеры, квантовые датчики), космическую электронику (солнечные батареи на основе Ge, радиационностойкие компоненты), высокочастотную и СВЧ-электронику (радиолокация, связь
5G/6G)

Максим Горшенин снял про наши установки видео, оно доступно к просмотру в сети Интернет на видеохотингах

Уже сейчас оборудование проходит этап подготовки к промышленному внедрению

Параллельно завершается разработка линейки оборудования для шлифования и полировки полупроводниковых пластин. В неё входят установки односторонней и двусторонней обработки, а также исполнения с индивидуальной и групповой загрузкой пластин диаметром до 200 мм.
Опытные образцы уже изготовлены

Сейчас ведётся отработка технологических процессов, подбор суспензий и формирование рецептов обработки, чтобы заказчики могли получать не только оборудование, но и готовые технологические решения

При разработке оборудования ЛАССАРД стремится максимально использовать отечественные комплектующие там, где они доступны и соответствуют необходимым требованиям по качеству и надёжности.
Тем не менее полностью локализовать такие сложные установки пока невозможно. Ряд специализированных компонентов по-прежнему закупается за рубежом

Например, в установке выращивания монокристаллов сегодня использу-
ются тигли из пиролитического нитрида бора зарубежного производства. При этом, компания параллельно наблюдаем за развитием российских производителей материалов. Насколько известно, компания «ООО «Вириал» завершает разработку аналогичной продукции, и рассчитываем
в перспективе перейти на отечественные комплектующие

В целом степень локализации будет расти по мере появления российских поставщиков высокотехнологичных компонентов

Макс | Телеграм

В продолжение, интервью с техническим директором компании ЛАССАРД Николаем Николаевичем Алленовым

Часть 1/3

ЛАССАРД — российская высокотехнологичная компания, специализирующаяся на разработке лазерных технологий
и промышленного оборудования. Компания была основана в 2015 году и входит в группу компаний «Вартон», которая с 2008 года специализируется на производстве светильников и светотехнического оборудования. Изначально ключевым направлением компании ЛАССАРД было создание лазерных источников и их компонентов. Но теперь мы развиваем и направление оборудования для электронной промышленности

Компетенции охватывают разработку лазеров различного назначения,
включая источники излучения для литографии, производство оборудования для лазерной обработки материалов, развитие
технологий производства оптического волокна, а также создание технологического оборудования для выращивания монокристаллов и обработки полупроводниковых пластин

Все эти направления тесно связаны между собой. Опыт создания собственных лазеров и высокоточных оптико-механических систем позволил сформировать компетенции, необходимые для разработки
сложного технологического оборудования в отрасли микроэлектроники

В настоящее время оборудование для электронной промышленности находится на стадии активного развития и пока не является основным источником выручки компании. Тем не менее на рынке ЛАССАРД стремимся стать центром разработки новых технологических решений.
За последние годы компания накопила значительный опыт эксплуатации,
модернизации и ремонта сложного промышленного оборудования. Именно это позволило приступить к реализации нескольких опытно-конструкторских работ по заказу Минпромторга России

Николай Николаевич Алленов рассматриваем данное направление как стратегическое. По мере завершения разработок и перехода к серийному
производству его доля в структуре бизнеса будет увеличиваться

Рынок оцениваем как крайне востребованный, учи-
тывая курс на развитие отечественной
электронной промышленности

Основной фокус разработок компании в данный момент сосредоточен на разработке технологического оборудования для выращивания монокристаллов и обработки полупроводниковых пластин. Рассматривается именно это направление как наиболее востребованное для развития отечественной электронной промышленности.

В первую очередь речь идёт о материалах, наиболее востребованных в фотонике, оптоэлектронике и высокочастотной электронике — арсениде галлия и германии. ЛАССАРД стратегически развиваем компетенции в этой области, поскольку видят высокий интерес к этим материалам
у российских разработчиков электронной компонентной базы

Макс | Телеграм